我國科學(xué)家研發(fā)制備石墨烯新方法，介電襯底長出“高”“大”石墨烯
2019-08-08 03:54:03
changyuan
我國科學(xué)家研發(fā)制備石墨烯新方法，介電襯底長出“高”“大”石墨烯
石墨烯以其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)和性能蘊(yùn)含了豐富而新奇的物理與化學(xué)性質(zhì)，成為集優(yōu)良力學(xué)、熱學(xué)、光學(xué)和電學(xué)特性于一體的神奇材料，在信息器件與電路等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景，是目前信息科學(xué)發(fā)展最為迅速和活躍的研究前沿之一。
近年來，石墨烯研究已取得了一系列重要進(jìn)展，新發(fā)現(xiàn)、新成果不斷涌現(xiàn)，但總體來說在實(shí)用化信息器件方面仍面臨很多挑戰(zhàn)。特別是基于高質(zhì)量大面積石墨烯的信息器件構(gòu)筑及其特性研究備受關(guān)注。
自2014年起，在國家自然科學(xué)基金重大項(xiàng)目“介電襯底上高質(zhì)量大面積石墨烯信息器件的構(gòu)筑與特性研究”支持下，中國科學(xué)家瞄準(zhǔn)領(lǐng)域研究前沿，針對石墨烯信息器件的一些關(guān)鍵基礎(chǔ)問題，開展新概念、新方法和新技術(shù)的研究，在石墨烯信息器件的重大科學(xué)問題上取得了一系列進(jìn)展。
超級材料石墨烯獨(dú)特又完美
石墨烯是由單層碳原子緊密堆積而成的二維蜂窩狀晶體結(jié)構(gòu)，這種獨(dú)特而完美的結(jié)構(gòu)使它具有優(yōu)異而新奇的特性。例如，石墨烯具有100倍于硅的超高載流子遷移率、高達(dá)130GPa的強(qiáng)度、很好的柔韌性，以及近20%的伸展率、超高熱導(dǎo)率、高達(dá)2600平方米每克的比表面積，并且?guī)捉该?，在很寬的波段?nèi)光吸收只有2.3%。
這些優(yōu)異的物理性質(zhì)使石墨烯在射頻晶體管、超靈敏傳感器、柔性透明導(dǎo)電薄膜、超強(qiáng)和高導(dǎo)復(fù)合材料、高性能鋰離子電池和超級電容器等方面展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。
中國科學(xué)家研發(fā)制備石墨烯新方法 介電襯底長出
“高”“大”石墨烯“高”“大”石墨烯制備絕非易事
能否在介電襯底上大面積、高質(zhì)量地制備石墨烯是其應(yīng)用能否真正實(shí)現(xiàn)的關(guān)鍵前提和基礎(chǔ)，也是石墨烯研究領(lǐng)域的重點(diǎn)和熱點(diǎn)。
自2004年以來，科學(xué)家們已發(fā)展出多種制備石墨烯的方法，包括機(jī)械剝離法、SiC或金屬單晶表面外延生長法、化學(xué)氧化剝離法、插層剝離法及化學(xué)氣相沉積（CVD）法等。其中，CVD法由于具有可控性高、結(jié)晶質(zhì)量好、均勻、薄膜尺寸大等優(yōu)勢而成為制備石墨烯最為普遍的方法之一。
CVD法大多以過渡金屬為生長基底，借助于其較高的化學(xué)催化活性，促進(jìn)碳源裂解并在金屬表面吸附、擴(kuò)散、成核、生長形成石墨烯。通過調(diào)控生長過程的參數(shù)，可以實(shí)現(xiàn)大面積、層數(shù)可控、高質(zhì)量且結(jié)構(gòu)均一連續(xù)的石墨烯薄膜，經(jīng)過工藝優(yōu)化，可實(shí)現(xiàn)超大面積石墨烯單晶生長。
值得一提的是，在實(shí)際應(yīng)用過程中，金屬表面形成的石墨烯一般需要轉(zhuǎn)移至介電層上，才可以進(jìn)行下一步的器件加工。復(fù)雜的轉(zhuǎn)移過程不可避免地帶來石墨烯的破損、褶皺，金屬、溶劑殘留污染以及操作繁復(fù)、一致性差、成本高昂等問題。
為解決這一問題，研究者將目光投向了在介電襯底表面直接生長石墨烯。如果能在介電襯底上直接可控制備大面積、高質(zhì)量的石墨烯，就可以直接利用目前的微電子技術(shù)制備器件，實(shí)現(xiàn)與硅技術(shù)融合，這將會極大促進(jìn)石墨烯的廣泛應(yīng)用和長足發(fā)展。
然而，由于介電層表面能量較低，對碳源小分子的裂解以及石墨烯形成所產(chǎn)生的催化作用十分微弱，因而在介電襯底上直接生長石墨烯是一個研究難點(diǎn)。
中國科學(xué)家研發(fā)制備石墨烯
新方法 介電襯底長出“高”“大”石墨烯長出“高”“大”石墨烯如何將石墨烯的優(yōu)異性能在器件中呈現(xiàn)出來？面對這一挑戰(zhàn)，項(xiàng)目組改進(jìn)了石墨烯的生長手段，嘗試在多種介電襯底上生長石墨烯。
研究人員通過巧妙控制碳源的通入量和實(shí)驗(yàn)溫度，利用掃描隧道顯微鏡直接觀測到石墨烯生長初期的前驅(qū)體單元，以及前驅(qū)體單元在石墨烯成核階段形成的鏈狀結(jié)構(gòu)。課題負(fù)責(zé)人表示：“前驅(qū)體的發(fā)現(xiàn)表明，可以考慮通過控制碳源的通入來影響前驅(qū)體的產(chǎn)生，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、大面積石墨烯的可控生長。”
基于此，該課題組在國際上首次提出并利用“插層法”實(shí)現(xiàn)原位、無損地將Si、Ge、Mg、Hf等幾種材料插入石墨烯與金屬的界面之間，并克服重重困難對插層結(jié)構(gòu)進(jìn)行原位氧化，經(jīng)過無數(shù)次實(shí)驗(yàn)摸索，終于獲得高絕緣性的介電插層，實(shí)現(xiàn)了介電襯底上高質(zhì)量、大面積的石墨烯材料生長。同時，通過石墨烯量子器件的加工印證了介電插層的有效性，引起了國際同行的關(guān)注與好評。
此外，研究人員還采用非金屬催化的CVD方法，在多種絕緣基底上實(shí)現(xiàn)了微米尺度石墨烯單晶的直接生長和可控制備，獲得大面積均勻的單層石墨烯膜，薄膜尺寸達(dá)3英寸。這也為項(xiàng)目后期石墨烯器件的構(gòu)筑與性能調(diào)控，以及高性能石墨烯器件的制備與優(yōu)化提供了條件。
為了將上述介電襯底上生長的高質(zhì)量石墨烯應(yīng)用于信息功能器件，中國科學(xué)院物理研究所研究員楊海方等人發(fā)明了一種雙層掩模工藝，實(shí)現(xiàn)了亞10納米石墨烯功能結(jié)構(gòu)的精確、可控制備，解決了絕緣的介電襯底上利用電子束曝光制備石墨烯納米結(jié)構(gòu)的難題。同時采用電子束曝光及紫外光刻混合曝光方法，在4英寸的介電襯底上實(shí)現(xiàn)了石墨烯傳感器器件和射頻晶體管陣列的精確、大面積、一致性高效制備。
石墨烯器件的批量制備與優(yōu)化
具有眾多新奇特性的石墨烯被認(rèn)為是一種非常有前景的信息功能材料。因此，電子器件和電路是石墨烯應(yīng)用的首選領(lǐng)域，也是研究最為廣泛的領(lǐng)域。石墨烯可以應(yīng)用于磁傳感器、高頻電路、氣體傳感、光傳感、柔性電子學(xué)等諸多方面。
項(xiàng)目組圍繞石墨烯應(yīng)用于構(gòu)筑信息器件與電路的需求，在注意發(fā)展介電襯底上大面積、高質(zhì)量石墨烯的可控制備及特性的同時，也積極探索基于石墨烯信息器件的構(gòu)筑與集成。在研究信息功能的石墨烯納米結(jié)構(gòu)制備及性能調(diào)控的基礎(chǔ)上，我們制備了多種石墨烯信息功能器件并對其性質(zhì)進(jìn)行了深入研究。
研究人員提出了一種石墨烯波紋結(jié)構(gòu)應(yīng)力傳感器，使應(yīng)力測量范圍超過30%，并設(shè)計(jì)出基于隧穿效應(yīng)的納米石墨烯薄膜應(yīng)力傳感器，使靈敏因子提高到500以上。在實(shí)際應(yīng)用中，可以根據(jù)需求選擇不同表面電阻和靈敏度的準(zhǔn)連續(xù)石墨烯來構(gòu)造應(yīng)力傳感器。
這種基于石墨烯隧穿效應(yīng)的應(yīng)力傳感器具有可拉伸、靈敏度高、穩(wěn)定性強(qiáng)、透明等特點(diǎn)，其在人造皮膚、觸摸屏等方面顯示了巨大的應(yīng)用潛力。
石墨烯超高的載流子遷移率、低載流子濃度和很好的穩(wěn)定性，是制備霍爾元件的絕佳電子材料。
課題負(fù)責(zé)人發(fā)展了一種工藝簡單、成本低廉的石墨烯微加工技術(shù)，克服了器件接觸電阻大這一難題，批量制備出了具備超高靈敏度和分辨率的石墨烯霍爾元件。該石墨烯霍爾元件的磁靈敏度達(dá)2093 V/AT ，分辨率達(dá)1 mG/Hz0.5，是目前最為靈敏和精確的石墨烯霍爾元件。這種高靈敏度的霍爾傳感器能夠探測更小的磁場，降低后端放大電路的成本，因而有巨大的市場應(yīng)用前景。
此外，研究人員基于柔性石墨烯霍爾傳感器，開發(fā)了一款柔性可穿戴位置傳感系統(tǒng)。將傳感器貼在用戶手指上，當(dāng)磁體靠近磁場源，根據(jù)霍爾效應(yīng)，輸出的電壓會有一個跳變。我們通過記錄并處理電壓信號，創(chuàng)新性地實(shí)現(xiàn)了虛擬鍵盤、虛擬電子琴和無接觸密碼鎖的演示。這種高靈敏度的柔性磁傳感器有希望應(yīng)用于無接觸密碼輸入、可穿戴娛樂和工業(yè)控制安全防護(hù)領(lǐng)域中。
此外，項(xiàng)目組還研制出具有獨(dú)立功能的石墨烯/硅基CMOS線性霍爾集成電路、石墨烯倍頻器、混頻器和短溝道器件等。這一系列具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高性能新原理石墨烯信息器件，有效提升了我國石墨烯信息器件的自主研發(fā)能力和在該領(lǐng)域的學(xué)術(shù)影響力，同時也造就了一支創(chuàng)新能力強(qiáng)、多學(xué)科交叉的國際一流研究隊(duì)伍。
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